基板处理装置和基板移载方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410600581.6

申请日：

2024-05-15

公开(公告)号：

CN119028884A

公开(公告)日：

2024-11-26

发明(设计)人：

本间学

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-26	公开	公开

共 50 条

[1]

基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法 [P].

田村明威 .

中国专利 :CN101361177B ,2009-02-04

[2]

基板处理装置和移载方法 [P].

高木善则 ;

辻雅夫 .

中国专利 :CN103177991B ,2013-06-26

[3]

基板处理装置、转换方法和移载方法 [P].

高木善则 ;

辻雅夫 .

中国专利 :CN102205911A ,2011-10-05

[4]

移载机及基板处理装置 [P].

山野边北斗 ;

石川翔 ;

洪国维 ;

谷泽昭寻 .

日本专利 :CN120359605A ,2025-07-22

[5]

载置台和基板处理装置 [P].

千叶谅 ;

佐佐木康晴 ;

永山晃 .

中国专利 :CN111095500A ,2020-05-01

[6]

载置台和基板处理装置 [P].

千叶谅 ;

佐佐木康晴 ;

永山晃 .

日本专利 :CN111095500B ,2024-01-09

[7]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

池田朋生 ;

日高章一郎 .

日本专利 :CN110783228B ,2024-07-30

[8]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

方济午 ;

安迎曙 ;

李承汉 ;

李承桓 ;

金铉玟 .

中国专利 :CN114446825A ,2022-05-06

[9]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

田边万奈 ;

高居康介 ;

增井健二 ;

梅泽华织 .

日本专利 :CN111696884B ,2024-01-16

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

本田拓巳 ;

山下浩司 ;

田原真二 ;

百武宏展 .

日本专利 :CN110010520B ,2024-03-26

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