基板处理装置和移载方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310087413.3

申请日：

2011-02-17

公开(公告)号：

CN103177991B

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

高木善则辻雅夫

申请人：

申请人地址：

日本国京都府京都市

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 B65G4906

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

宋晓宝;郭晓东

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-14	授权	授权
2013-06-26	公开	公开
2015-01-14	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101709868905 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013100874133 变更事项:申请人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本国京都府京都市变更后:日本国京都府京都市
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101497322527 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013100874133 申请日:20110217

共 50 条

[1]

基板处理装置、转换方法和移载方法 [P].

高木善则 ;

辻雅夫 .

中国专利 :CN102205911A ,2011-10-05

[2]

基板处理装置和基板移载方法 [P].

本间学 .

日本专利 :CN119028884A ,2024-11-26

[3]

基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法 [P].

田村明威 .

中国专利 :CN101361177B ,2009-02-04

[4]

基板移载装置 [P].

庄政道 ;

邓建松 ;

杨弘文 .

中国专利 :CN100591596C ,2005-07-20

[5]

移载机及基板处理装置 [P].

山野边北斗 ;

石川翔 ;

洪国维 ;

谷泽昭寻 .

日本专利 :CN120359605A ,2025-07-22

[6]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

富藤幸雄 ;

辻雅夫 ;

大宅宗明 .

中国专利 :CN110676192A ,2020-01-10

[7]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

富藤幸雄 ;

辻雅夫 ;

大宅宗明 .

日本专利 :CN110676192B ,2024-08-27

[8]

基板处理装置和方法 [P].

具世薰 ;

李正洙 ;

郑畅和 ;

吴英圭 ;

洪忠吾 .

中国专利 :CN114551288A ,2022-05-27

[9]

载置台和基板处理装置 [P].

小泉克之 ;

高桥雅典 ;

江崎匠大 .

日本专利 :CN120221489A ,2025-06-27

[10]

信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置 [P].

榎本忠 ;

明石直 ;

康荣太 ;

潮永圭史 .

中国专利 :CN115440637A ,2022-12-06

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