基板处理装置、转换方法和移载方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110041066.1

申请日：

2011-02-17

公开(公告)号：

CN102205911A

公开(公告)日：

2011-10-05

发明(设计)人：

高木善则辻雅夫

申请人：

申请人地址：

日本国京都府京都市

IPC主分类号：

B65G4906

IPC分类号：

H01L21677 H01L2100

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

郭晓东;马少东

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-05	公开	公开
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101140144240 IPC(主分类):B65G 49/06 专利申请号:2011100410661 申请日:20110217
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713094034 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2011100410661 变更事项:专利权人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本国京都府京都市变更后:日本国京都府京都市
2013-10-30	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置和移载方法 [P].

高木善则 ;

辻雅夫 .

中国专利 :CN103177991B ,2013-06-26

[2]

基板处理装置和基板移载方法 [P].

本间学 .

日本专利 :CN119028884A ,2024-11-26

[3]

基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法 [P].

田村明威 .

中国专利 :CN101361177B ,2009-02-04

[4]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

富藤幸雄 ;

辻雅夫 ;

大宅宗明 .

中国专利 :CN110676192A ,2020-01-10

[5]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

富藤幸雄 ;

辻雅夫 ;

大宅宗明 .

日本专利 :CN110676192B ,2024-08-27

[6]

基板移载装置 [P].

庄政道 ;

邓建松 ;

杨弘文 .

中国专利 :CN100591596C ,2005-07-20

[7]

移载机及基板处理装置 [P].

山野边北斗 ;

石川翔 ;

洪国维 ;

谷泽昭寻 .

日本专利 :CN120359605A ,2025-07-22

[8]

基板处理装置和方法 [P].

具世薰 ;

李正洙 ;

郑畅和 ;

吴英圭 ;

洪忠吾 .

中国专利 :CN114551288A ,2022-05-27

[9]

移载装置及移载方法 [P].

小林贤治 .

中国专利 :CN101303996A ,2008-11-12

[10]

移载装置及移载方法 [P].

吉冈孝久 ;

杉下芳昭 .

中国专利 :CN101303995A ,2008-11-12

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