玻璃基板移载装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810087340.7

申请日：

2008-03-21

公开(公告)号：

CN101538703A

公开(公告)日：

2009-09-23

发明(设计)人：

黄明鸿叶公旭杨正安何建立

申请人：

申请人地址：

台湾省台南县

IPC主分类号：

C23C1654

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周国城

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101114493921 IPC(主分类):C23C 16/54 专利申请号:2008100873407 公开日:20090923
2009-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-09-23	公开	公开

共 50 条

[1]

玻璃基板移载装置 [P].

李义隆 .

中国专利 :CN103159402B ,2013-06-19

[2]

用于玻璃基板的移载装置 [P].

庞中权 .

中国专利 :CN216189250U ,2022-04-05

[3]

基板移载手臂及基板移载装置 [P].

范光建 .

中国专利 :CN120453218A ,2025-08-08

[4]

基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法 [P].

田村明威 .

中国专利 :CN101361177B ,2009-02-04

[5]

薄层基板制造方法、薄层基板移载装置以及薄层基板移载用吸附垫 [P].

田中秀树 ;

安宾桢 ;

萧厚彦 .

中国专利 :CN1495887A ,2004-05-12

[6]

基板移载装置和基板移载方法 [P].

阿部洋 ;

小原美鹤 ;

阿部任弘 .

中国专利 :CN101271857B ,2008-09-24

[7]

基板移载装置以及基板移载方法 [P].

今井大辅 ;

武田直也 .

中国专利 :CN104321857A ,2015-01-28

[8]

玻璃基板用机器人移载设备及移载工艺 [P].

刘正爱 ;

洪志王 ;

华德政 .

中国专利 :CN119460731A ,2025-02-18

[9]

玻璃基板用机器人移载设备及移载工艺 [P].

刘正爱 ;

洪志王 ;

华德政 .

中国专利 :CN119460731B ,2025-04-04

[10]

基板移载装置 [P].

庄政道 ;

邓建松 ;

杨弘文 .

中国专利 :CN100591596C ,2005-07-20

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