基板移载装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03140495.2

申请日：

2003-09-08

公开(公告)号：

CN1594048A

公开(公告)日：

2005-03-16

发明(设计)人：

庄政道邓建松杨弘文

申请人：

申请人地址：

518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

B65G4907

IPC分类号：

H01L2100 H05K1300

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-03-16	公开	公开
2008-10-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法 [P].

田村明威 .

中国专利 :CN101361177B ,2009-02-04

[2]

基板移载装置和基板移载方法 [P].

阿部洋 ;

小原美鹤 ;

阿部任弘 .

中国专利 :CN101271857B ,2008-09-24

[3]

基板移载装置以及基板移载方法 [P].

今井大辅 ;

武田直也 .

中国专利 :CN104321857A ,2015-01-28

[4]

基板移载手臂及基板移载装置 [P].

范光建 .

中国专利 :CN120453218A ,2025-08-08

[5]

基板移载装置 [P].

庄政道 ;

邓建松 ;

杨弘文 .

中国专利 :CN100591596C ,2005-07-20

[6]

基板移载装置 [P].

夏良烘 ;

徐向阳 ;

陈杰 .

中国专利 :CN105600447B ,2016-05-25

[7]

基板移载装置 [P].

后藤博彦 ;

曾铭 ;

艾薇许·巴瓦尼 ;

小野茂树 .

中国专利 :CN107924862A ,2018-04-17

[8]

玻璃基板移载装置 [P].

李义隆 .

中国专利 :CN103159402B ,2013-06-19

[9]

玻璃基板移载装置 [P].

黄明鸿 ;

叶公旭 ;

杨正安 ;

何建立 .

中国专利 :CN101538703A ,2009-09-23

[10]

液晶基板洗净移载装置 [P].

严灿焜 .

中国专利 :CN2573099Y ,2003-09-17

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