一种等离子体装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710325963.2

申请日：

2017-05-10

公开(公告)号：

CN108878242B

公开(公告)日：

2018-11-23

发明(设计)人：

韦刚苏恒毅杨京

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;罗瑞芝

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-23	公开	公开
2018-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20170510
2021-01-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种等离子体处理装置 [P].

李可 ;

王兆祥 ;

向浪 ;

王亮 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN117976505A ,2024-05-03

[2]

一种等离子体处理装置 [P].

李可 ;

王兆祥 ;

向浪 ;

王亮 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN117976505B ,2024-05-28

[3]

一种微波等离子体喷枪 [P].

夏世伟 ;

朱玲 ;

王宇琳 ;

洪俊华 ;

杨立军 ;

孟庆栋 ;

张晓峰 .

中国专利 :CN118400857A ,2024-07-26

[4]

等离子体处理装置和等离子体产生装置 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103805968A ,2014-05-21

[5]

一种调平装置和等离子体设备 [P].

张峥 .

中国专利 :CN108728827B ,2018-11-02

[6]

一种感应耦合型等离子体处理装置 [P].

姜勇 ;

尚福军 ;

胡玉 .

中国专利 :CN120033054A ,2025-05-23

[7]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102157325B ,2011-08-17

[10]

等离子体掺杂装置及等离子体掺杂方法 [P].

田中胜 ;

栗山仁 ;

室冈博树 .

中国专利 :CN102339737B ,2012-02-01

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