一种感应耦合型等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510177796.6

申请日：

2025-02-18

公开(公告)号：

CN120033054A

公开(公告)日：

2025-05-23

发明(设计)人：

姜勇尚福军胡玉

申请人：

南通金源智能技术有限公司

申请人地址：

226000 江苏省南通市开发区齐心路20号

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

上海维卓专利代理有限公司 31409

代理人：

顾楠

法律状态：

公开

国省代码：

河北省石家庄市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-23	公开	公开
2025-06-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20250218

共 50 条

[1]

感应耦合型等离子体处理装置 [P].

龚岳俊 ;

黄智林 ;

罗伟义 ;

吴狄 .

中国专利 :CN105789011A ,2016-07-20

[2]

感应耦合型等离子体天线及等离子体处理装置 [P].

赵政熙 ;

崔伦硕 ;

谢尔盖.扎雷茨基 ;

柳次英 .

中国专利 :CN111133552A ,2020-05-08

[3]

一种等离子体处理装置 [P].

李可 ;

王兆祥 ;

向浪 ;

王亮 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN117976505A ,2024-05-03

[4]

一种等离子体处理装置 [P].

李可 ;

王兆祥 ;

向浪 ;

王亮 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN117976505B ,2024-05-28

[5]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103094047A ,2013-05-08

[6]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN101795528B ,2010-08-04

[7]

一种感应耦合型等离子体处理装置 [P].

于凌崧 ;

王婷 ;

邢云翮 ;

庄文 .

中国专利 :CN104918401A ,2015-09-16

[8]

一种感应耦合型等离子体处理装置 [P].

倪图强 ;

何乃明 ;

吴狄 ;

龚岳俊 .

中国专利 :CN106711007B ,2017-05-24

[9]

一种感应耦合型等离子体处理装置 [P].

于凌崧 ;

邢云翮 ;

庄文 ;

颜景颢 .

中国专利 :CN204761821U ,2015-11-11

[10]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1320596C ,2004-02-25

← 1 2 3 4 5 →