感应耦合型等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410836742.8

申请日：

2014-12-24

公开(公告)号：

CN105789011A

公开(公告)日：

2016-07-20

发明(设计)人：

龚岳俊黄智林罗伟义吴狄

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

林彦之;张磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-26	授权	授权
2016-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101674709656 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2014108367428 申请日:20141224
2016-07-20	公开	公开
2019-04-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

共 50 条

[1]

电感耦合型等离子体处理装置 [P].

周旭升 ;

吴狄 ;

倪图强 .

中国专利 :CN105655220A ,2016-06-08

[2]

一种感应耦合型等离子体处理装置 [P].

倪图强 ;

何乃明 ;

吴狄 ;

龚岳俊 .

中国专利 :CN106711007B ,2017-05-24

[3]

感应耦合型等离子体天线及等离子体处理装置 [P].

赵政熙 ;

崔伦硕 ;

谢尔盖.扎雷茨基 ;

柳次英 .

中国专利 :CN111133552A ,2020-05-08

[4]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103094047A ,2013-05-08

[5]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN101795528B ,2010-08-04

[6]

电感耦合型等离子体处理装置 [P].

倪图强 .

中国专利 :CN201869431U ,2011-06-15

[7]

电感耦合型等离子体处理装置 [P].

罗伟义 ;

许颂临 .

中国专利 :CN101998749B ,2011-03-30

[8]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1320596C ,2004-02-25

[9]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 ;

山本浩司 .

中国专利 :CN101974735B ,2011-02-16

[10]

感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

佐佐木和男 ;

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101730375A ,2010-06-09

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