感应耦合型等离子体天线及等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880062328.2

申请日：

2018-10-02

公开(公告)号：

CN111133552A

公开(公告)日：

2020-05-08

发明(设计)人：

赵政熙崔伦硕谢尔盖.扎雷茨基柳次英

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市处仁区阳智面秋溪路42

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456

代理人：

许玉顺;金珍花

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J 37/32 申请公布日:20200508
2020-05-08	公开	公开
2020-06-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20181002

共 50 条

[1]

等离子体处理装置及等离子体天线 [P].

禹相浩 ;

梁日光 ;

宋炳奎 .

中国专利 :CN102204416A ,2011-09-28

[2]

等离子体天线模组及等离子体处理装置 [P].

金亨源 ;

李允诚 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN111952142A ,2020-11-17

[3]

感应耦合型等离子体处理装置 [P].

龚岳俊 ;

黄智林 ;

罗伟义 ;

吴狄 .

中国专利 :CN105789011A ,2016-07-20

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

石井信雄 ;

筱原己拔 .

中国专利 :CN1742522A ,2006-03-01

[5]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101667534A ,2010-03-10

[6]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101047112A ,2007-10-03

[7]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101667533B ,2010-03-10

[8]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103094047A ,2013-05-08

[9]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN101795528B ,2010-08-04

[10]

等离子体天线及包括其的等离子体处理装置 [P].

金亨源 ;

李允诚 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN111491433A ,2020-08-04

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