等离子体处理装置及等离子体天线

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980143879.2

申请日：

2009-10-26

公开(公告)号：

CN102204416A

公开(公告)日：

2011-09-28

发明(设计)人：

禹相浩梁日光宋炳奎

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H05H134

IPC分类号：

H05H130 H05H124

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

李辉;张旭东

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-24	授权	授权
2011-09-28	公开	公开
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101137313259 IPC(主分类):H05H 1/34 专利申请号:2009801438792 申请日:20091026

共 50 条

[1]

等离子体天线模组及等离子体处理装置 [P].

金亨源 ;

李允诚 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN111952142A ,2020-11-17

[2]

感应耦合型等离子体天线及等离子体处理装置 [P].

赵政熙 ;

崔伦硕 ;

谢尔盖.扎雷茨基 ;

柳次英 .

中国专利 :CN111133552A ,2020-05-08

[3]

等离子体天线及包括其的等离子体处理装置 [P].

金亨源 ;

李允诚 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN111491433A ,2020-08-04

[4]

等离子体蚀刻方法、等离子体蚀刻装置、等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

森口尚树 .

中国专利 :CN105103274A ,2015-11-25

[5]

天线、等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

阿部纯一 ;

中尾博人 .

中国专利 :CN110534393A ,2019-12-03

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

禹相浩 ;

梁日光 .

中国专利 :CN101952941A ,2011-01-19

[7]

等离子体处理用气体、等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

末田一行 ;

笹仓昌浩 ;

山本凌音 ;

角川舞 .

中国专利 :CN115699264A ,2023-02-03

[8]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

佐藤阳介 ;

宇井明生 ;

林久贵 .

中国专利 :CN105280489A ,2016-01-27

[9]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

有田洁 ;

岩井哲博 ;

寺山纯一 .

中国专利 :CN1516890A ,2004-07-28

[10]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

佐藤阳介 ;

宇井明生 ;

酒井伊都子 .

中国专利 :CN107591308A ,2018-01-16

← 1 2 3 4 5 →