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等离子体处理装置及等离子体处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710092271.8
申请日：
2017-02-21
公开(公告)号：
CN107591308A
公开(公告)日：
2018-01-16
发明(设计)人：
佐藤阳介
宇井明生
酒井伊都子
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
徐殿军
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-01-16 | 公开 | 公开 |
| 2018-02-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20170221 |
| 2021-03-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J 37/32 申请公布日:20180116 |