等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111030176.8

申请日：

2021-09-03

公开(公告)号：

CN114188208A

公开(公告)日：

2022-03-15

发明(设计)人：

竹内贵广小林宪

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;徐飞跃

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-15	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

藤原直树 ;

大秦充敬 ;

竹内贵广 .

中国专利 :CN114121589A ,2022-03-01

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

竹内贵广 ;

小林宪 .

中国专利 :CN114188209A ,2022-03-15

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金子和史 .

中国专利 :CN114302547A ,2022-04-08

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 .

日本专利 :CN117480870B ,2024-06-28

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

田井将纪 .

日本专利 :CN120036053A ,2025-05-23

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

竹内贵广 ;

高桥正彦 ;

小林宪 .

日本专利 :CN117397014A ,2024-01-12

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

丸山幸儿 ;

堀口将人 ;

松木哲理 ;

舆石公 .

中国专利 :CN105379428B ,2016-03-02

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

中国专利 :CN113936985A ,2022-01-14

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

上坂友佑人 ;

斋野高遥 .

日本专利 :CN119404600A ,2025-02-07

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

日本专利 :CN113936985B ,2025-03-11

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