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一种半导体清洗设备
被引：0
申请号：
CN202222014013.7
申请日：
2022-08-01
公开(公告)号：
CN218498027U
公开(公告)日：
2023-02-17
发明(设计)人：
张爽
曹婷
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区塔园路379号1号楼10楼1004
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
苏州久元知识产权代理事务所(普通合伙) 32446
代理人：
潘宏伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-17 | 授权 | 授权 |