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一种半导体清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321096320.2
申请日：
2023-05-09
公开(公告)号：
CN220514841U
公开(公告)日：
2024-02-23
发明(设计)人：
张婷婷
钱威
张楚楚
刘文珠
郑鹏飞
植俊杰
申请人：
张婷婷
申请人地址：
201600 上海市松江区施园路
IPC主分类号：
B08B3/02
IPC分类号：
B08B3/14
H01L21/67
代理机构：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357
代理人：
杨敬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-23 | 授权 | 授权 |