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制造半导体器件的电容器的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN98104468.9
申请日：
1998-02-18
公开(公告)号：
CN1120524C
公开(公告)日：
1998-09-09
发明(设计)人：
木城耕一
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L21324
IPC分类号：
代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：
王永刚
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2003-09-03 | 授权 | 授权 |
| 2009-04-22 | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) |
| 1998-09-09 | 公开 | 公开 |
| 2000-05-17 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |