用于光刻的传感器系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380059143.3

申请日：

2013-09-10

公开(公告)号：

CN104823112A

公开(公告)日：

2015-08-05

发明(设计)人：

H·科克 R·J·沃格德

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华;张宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101623402557 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013800591433 申请日:20130910
2015-08-05	公开	公开
2018-06-29	授权	授权

共 50 条

[1]

用于光刻装置的水平传感器 [P].

P·A·A·特尼森 ;

P·J·M·布鲁德巴克 ;

R·M·G·J·奎恩斯 .

中国专利 :CN100555086C ,2004-08-04

[2]

用于光刻系统的传感器以及用于光刻参数测量的传感器控制方法 [P].

李赣 .

中国专利 :CN117956743A ,2024-04-30

[3]

传感器系统、衬底输送系统和光刻设备 [P].

J·洛夫 ;

J·考夫曼 ;

M·D·N·彼得斯 ;

P·T·吕特格尔斯 ;

M·H·W·斯道派欧 ;

G·范德艾克曼 ;

H·K·范德舒特 ;

R·维瑟 .

中国专利 :CN106104382B ,2016-11-09

[4]

用于光刻的图像传感器 [P].

F·斯塔尔斯 ;

J·洛夫 ;

E·R·鲁普斯卓 ;

W·T·苔尔 ;

B·莫埃斯特 .

中国专利 :CN101720449A ,2010-06-02

[5]

用于图像传感器的光刻 [P].

佟璐 ;

陈世杰 ;

黄晓橹 .

中国专利 :CN109585482A ,2019-04-05

[6]

传感器系统、传感器模块和传感器系统的安装方法 [P].

太田尚城 ;

沟口义之 .

中国专利 :CN110007254B ,2019-07-12

[7]

传感器系统、用于运行传感器系统的方法 [P].

F·迪亚齐 ;

R·哈利柳林 ;

A·维斯孔蒂 .

中国专利 :CN114234950A ,2022-03-25

[8]

传感器系统、用于运行传感器系统的方法 [P].

W·盖格尔 ;

I·卡达尔-内梅特 ;

J·克拉森 .

中国专利 :CN114076830A ,2022-02-22

[9]

传感器系统以及用于传感器系统的天线 [P].

J.L.怀特利 ;

B.L.谢克曼 ;

高宇轩 ;

R.哈亚施达 ;

李瑢宰 .

中国专利 :CN103471632A ,2013-12-25

[10]

用于配电设备的传感器系统 [P].

阿图斯·波特榭 ;

马库斯·迪纳 ;

托马斯·黑克勒 ;

亚历山大·海因 .

中国专利 :CN107544002B ,2018-01-05

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