薄膜的炉管沉积方法

被引：0

申请号：

CN202011394386.0

申请日：

2020-12-03

公开(公告)号：

CN114606476A

公开(公告)日：

2022-06-10

发明(设计)人：

黄其赞

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C1656 C23C1652 C23C16455

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20201203
2022-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种沉积炉管及沉积薄膜的方法 [P].

陈建国 ;

李天贺 .

中国专利 :CN103451624A ,2013-12-18

[2]

晶舟组件及用于薄膜沉积的炉管装置 [P].

请求不公布姓名 ;

蒋新和 .

中国专利 :CN220856518U ,2024-04-26

[3]

基于炉管设备的扩散沉积方法及炉管设备 [P].

董坤 .

中国专利 :CN121204645A ,2025-12-26

[4]

薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 [P].

戴明宇 ;

周培垄 ;

李天天 ;

费红财 ;

陈更明 ;

成康 ;

金京俊 .

中国专利 :CN120366747A ,2025-07-25

[5]

薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 [P].

戴明宇 ;

周培垄 ;

李天天 ;

费红财 ;

陈更明 ;

成康 ;

金京俊 .

中国专利 :CN120366747B ,2025-09-23

[6]

薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 [P].

王厚工 ;

丁培军 ;

耿波 ;

李杨超 ;

武学伟 .

中国专利 :CN103572244A ,2014-02-12

[7]

薄膜沉积方法及设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114150287A ,2022-03-08

[8]

薄膜沉积方法 [P].

王宽冒 .

中国专利 :CN111778478B ,2020-10-16

[9]

薄膜沉积设备 [P].

马浩烈 ;

李载昱 .

中国专利 :CN103074579A ,2013-05-01

[10]

薄膜沉积工艺腔的腔内沉积薄膜清洁方法 [P].

陈翔 ;

许隽 ;

金立培 ;

刘善鹏 .

中国专利 :CN112725762A ,2021-04-30

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