一种沉积炉管及沉积薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210173738.9

申请日：

2012-05-30

公开(公告)号：

CN103451624A

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

陈建国李天贺

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101730665299 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2012101737389 申请公布日:20131218
2013-12-18	公开	公开
2014-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562725141 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2012101737389 申请日:20120530

共 50 条

[1]

薄膜的炉管沉积方法 [P].

黄其赞 .

中国专利 :CN114606476A ,2022-06-10

[2]

一种炉管及薄膜沉积设备 [P].

肖建建 ;

杜记龙 .

中国专利 :CN220537912U ,2024-02-27

[3]

一种薄膜沉积方法和沉积薄膜 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109385623A ,2019-02-26

[4]

薄膜沉积方法及炉管装置 [P].

陈伯廷 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN109023309A ,2018-12-18

[5]

一种用于晶圆薄膜沉积的炉管 [P].

杨晓燕 ;

林晓涵 ;

李小乐 ;

娄培阳 .

中国专利 :CN223033447U ,2025-06-27

[6]

炉管用挡片套件、用于晶圆薄膜沉积的炉管及方法 [P].

郝胜男 ;

耿晨晨 ;

林晓涵 ;

焦圣杰 .

中国专利 :CN120099490A ,2025-06-06

[7]

薄膜沉积装置和薄膜沉积方法 [P].

李沅民 ;

杨与胜 ;

张迎春 .

中国专利 :CN101265574A ,2008-09-17

[8]

沉积薄膜的方法 [P].

李沅民 ;

单洪青 ;

林朝晖 .

中国专利 :CN101775591A ,2010-07-14

[9]

一种沉积炉管 [P].

董彬 ;

宋大伟 ;

赵星 ;

郝学涛 .

中国专利 :CN101368289A ,2009-02-18

[10]

薄膜沉积方法 [P].

金容玹 ;

朴日兴 ;

朴昶均 ;

吴元柱 ;

李东奂 ;

李龙炫 ;

李俊锡 ;

林秉宽 .

韩国专利 :CN117413087A ,2024-01-16

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