一种沉积炉管

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710044854.X

申请日：

2007-08-14

公开(公告)号：

CN101368289A

公开(公告)日：

2009-02-18

发明(设计)人：

董彬宋大伟赵星郝学涛

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

C30B2508

IPC分类号：

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 25/08 申请日:20070814 授权公告日:20110323 终止日期:20180814
2009-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-02-18	公开	公开
2011-03-23	授权	授权

共 50 条

[1]

沉积炉管 [P].

杨志平 ;

崔长祥 ;

凌尧 ;

刘刚 .

中国专利 :CN201530863U ,2010-07-21

[2]

一种沉积炉管及沉积薄膜的方法 [P].

陈建国 ;

李天贺 .

中国专利 :CN103451624A ,2013-12-18

[3]

氮化硅沉积炉管 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208517524U ,2019-02-19

[4]

直立式沉积炉管 [P].

李占斌 .

中国专利 :CN102766853B ,2012-11-07

[5]

直立式沉积炉管 [P].

王硕 ;

许忠义 .

中国专利 :CN102517565A ,2012-06-27

[6]

一种用于晶圆薄膜沉积的炉管 [P].

杨晓燕 ;

林晓涵 ;

李小乐 ;

娄培阳 .

中国专利 :CN223033447U ,2025-06-27

[7]

薄膜沉积方法及炉管装置 [P].

陈伯廷 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN109023309A ,2018-12-18

[8]

一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法 [P].

盛飞龙 ;

郭嘉杰 ;

王慧勇 ;

王鑫 ;

吴彩庭 ;

孔倩茵 .

中国专利 :CN114753001A ,2022-07-15

[9]

一种炉管设备 [P].

徐亚平 .

中国专利 :CN217521954U ,2022-09-30

[10]

一种立式炉管装置 [P].

雷奇奇 ;

乔磊 ;

聂广宇 .

中国专利 :CN206003746U ,2017-03-08

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