沉积炉管

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920211928.9

申请日：

2009-11-05

公开(公告)号：

CN201530863U

公开(公告)日：

2010-07-21

发明(设计)人：

杨志平崔长祥凌尧刘刚

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16455 H01L21318

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-21	授权	授权
2013-03-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101538394487 IPC(主分类):C23C 16/34 专利号:ZL2009202119289 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130219
2019-11-29	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20091105 授权公告日:20100721

共 50 条

[1]

一种沉积炉管 [P].

董彬 ;

宋大伟 ;

赵星 ;

郝学涛 .

中国专利 :CN101368289A ,2009-02-18

[2]

氮化硅沉积炉管 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208517524U ,2019-02-19

[3]

直立式沉积炉管 [P].

李占斌 .

中国专利 :CN102766853B ,2012-11-07

[4]

原子层沉积炉管设备 [P].

王宏付 .

中国专利 :CN208517525U ,2019-02-19

[5]

一种沉积炉管 [P].

杨志平 ;

李广宁 .

中国专利 :CN204608156U ,2015-09-02

[6]

直立式沉积炉管 [P].

王硕 ;

许忠义 .

中国专利 :CN102517565A ,2012-06-27

[7]

晶舟以及沉积炉管 [P].

陈腾飞 ;

孟宪宇 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208803144U ,2019-04-30

[8]

一种沉积炉管 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208829761U ,2019-05-07

[9]

薄膜沉积炉管及化学气相沉积设备 [P].

张弢 ;

朱广东 ;

邱家梁 ;

郭梦龙 ;

童洪波 .

中国专利 :CN222313290U ,2025-01-07

[10]

一种LPCVD沉积炉管 [P].

丁波 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

侯金松 .

中国专利 :CN204325494U ,2015-05-13

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