一种沉积炉管

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821502262.8

申请日：

2018-09-12

公开(公告)号：

CN208829761U

公开(公告)日：

2019-05-07

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

C23C16458 C23C1634

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

袁礼君;阚梓瑄

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种沉积炉管 [P].

杨志平 ;

李广宁 .

中国专利 :CN204608156U ,2015-09-02

[2]

一种沉积炉管 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110894598A ,2020-03-20

[3]

沉积炉管 [P].

杨志平 ;

崔长祥 ;

凌尧 ;

刘刚 .

中国专利 :CN201530863U ,2010-07-21

[4]

一种炉管及薄膜沉积设备 [P].

肖建建 ;

杜记龙 .

中国专利 :CN220537912U ,2024-02-27

[5]

一种LPCVD沉积炉管 [P].

丁波 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

侯金松 .

中国专利 :CN204325494U ,2015-05-13

[6]

一种氮化硅沉积炉管 [P].

蒋小波 ;

宋红利 .

中国专利 :CN223047583U ,2025-07-01

[7]

氮化硅沉积炉管 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208517524U ,2019-02-19

[8]

原子层沉积炉管设备 [P].

王宏付 .

中国专利 :CN208517525U ,2019-02-19

[9]

晶舟以及沉积炉管 [P].

陈腾飞 ;

孟宪宇 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208803144U ,2019-04-30

[10]

一种改善LPCVD沉积均匀性的炉管 [P].

许元飞 ;

付少剑 ;

张明明 ;

郭世成 ;

范洵 ;

毛雨 ;

吕佳丽 .

中国专利 :CN221094276U ,2024-06-07

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