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一种适用于LED半导体真空烘烤炉
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201810755530.5
申请日
:
2018-07-11
公开(公告)号
:
CN108895830A
公开(公告)日
:
2018-11-27
发明(设计)人
:
纪国章
洪翠翠
卢柏权
申请人
:
申请人地址
:
215323 江苏省苏州市昆山市张浦镇花苑路1178号(昆山金美创机械有限公司)
IPC主分类号
:
F27B505
IPC分类号
:
F27B506
F27B514
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2018-11-27
公开
公开
2018-12-21
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):F27B 5/05 申请日:20180711
2019-12-06
授权
授权
共 50 条
[1]
一种半导体真空烘烤炉
[P].
金永春
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
金永春
.
中国专利
:CN212485278U
,2021-02-05
[2]
一种高温真空烘烤炉
[P].
施建江
论文数:
0
引用数:
0
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0
施建江
;
刘祥林
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘祥林
;
张晓沛
论文数:
0
引用数:
0
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0
张晓沛
;
杨少延
论文数:
0
引用数:
0
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0
杨少延
.
中国专利
:CN201740384U
,2011-02-09
[3]
一种适用于半导体硅片生产的烘烤加热装置
[P].
李伟伟
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
昆山科迪特精密工业有限公司
昆山科迪特精密工业有限公司
李伟伟
.
中国专利
:CN118963075A
,2024-11-15
[4]
一种适用于半导体行业的真空矩形阀门
[P].
李加平
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
李加平
;
姜小蛟
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
姜小蛟
;
李茂成
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
李茂成
.
中国专利
:CN116357802B
,2025-09-23
[5]
一种适用于半导体行业的真空矩形阀门
[P].
李加平
论文数:
0
引用数:
0
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0
李加平
;
姜小蛟
论文数:
0
引用数:
0
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0
姜小蛟
.
中国专利
:CN115704505A
,2023-02-17
[6]
一种适用于半导体行业的真空矩形阀门
[P].
刘伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
刘伟
;
李加平
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
李加平
;
姜小蛟
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
姜小蛟
.
中国专利
:CN117823642A
,2024-04-05
[7]
一种适用于半导体行业的真空矩形阀门
[P].
冯志伟
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
苏州子山半导体科技有限公司
苏州子山半导体科技有限公司
冯志伟
.
中国专利
:CN221033983U
,2024-05-28
[8]
一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘
[P].
周小琳
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
周小琳
.
中国专利
:CN217289132U
,2022-08-26
[9]
一种电池真空烘烤炉
[P].
谭丁演
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
深圳市大星守正智能装备有限公司
深圳市大星守正智能装备有限公司
谭丁演
;
孙艳涛
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
深圳市大星守正智能装备有限公司
深圳市大星守正智能装备有限公司
孙艳涛
;
彭福生
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳市大星守正智能装备有限公司
深圳市大星守正智能装备有限公司
彭福生
;
王超
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳市大星守正智能装备有限公司
深圳市大星守正智能装备有限公司
王超
;
龙国斌
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳市大星守正智能装备有限公司
深圳市大星守正智能装备有限公司
龙国斌
.
中国专利
:CN121206840A
,2025-12-26
[10]
一种适用于半导体行业的真空手动角阀
[P].
李加平
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
李加平
;
赵子旭
论文数:
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0
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机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
赵子旭
;
张志凯
论文数:
0
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0
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0
机构:
沈阳富创精密设备股份有限公司
沈阳富创精密设备股份有限公司
张志凯
.
中国专利
:CN118602118B
,2025-08-22
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