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一种适用于半导体行业的真空矩形阀门
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322901914.2
申请日：
2023-10-27
公开(公告)号：
CN221033983U
公开(公告)日：
2024-05-28
发明(设计)人：
冯志伟
申请人：
苏州子山半导体科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区方泾路10号裕大盛博科技园1号楼301室
IPC主分类号：
F16K1/00
IPC分类号：
F16K31/122
F16K51/02
代理机构：
北京环泰睿辰专利代理有限公司 37322
代理人：
陈燕
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-28 | 授权 | 授权 |