用于大半导体行业的抽真空装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420318283.X

申请日：

2014-06-16

公开(公告)号：

CN204099236U

公开(公告)日：

2015-01-14

发明(设计)人：

郑洪

申请人：

申请人地址：

200001 上海市嘉定区马陆镇东陈路250号1幢106室

IPC主分类号：

F04D1712

IPC分类号：

F04D2900

代理机构：

代理人：

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-14	授权	授权
2021-07-09	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):F04D 17/12 登记生效日:20210628 变更事项:专利权人变更前权利人:上海协微精密机械有限公司变更后权利人:上海协微环境科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:200001 上海市嘉定区马陆镇东陈路250号1幢106室变更后权利人:上海市嘉定区丰年路88弄22号31幢变更事项:专利权人变更前权利人:BSA株式会社变更后权利人:BSA株式会社

共 50 条

[1]

用于大半导体行业的抽真空装置 [P].

郑洪 .

中国专利 :CN105201871A ,2015-12-30

[2]

半导体器件塑封抽真空装置 [P].

黄振忠 ;

谢伟波 ;

张伟洪 ;

郭树源 ;

蚁淡星 .

中国专利 :CN202189760U ,2012-04-11

[3]

半导体加工工艺、抽真空装置和半导体工艺设备 [P].

徐范植 ;

高建峰 ;

丁云凌 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114542425A ,2022-05-27

[4]

半导体器件塑封抽真空装置 [P].

黄振忠 ;

谢伟波 ;

张伟洪 ;

郭树源 ;

蚁淡星 .

中国专利 :CN102950700A ,2013-03-06

[5]

抽真空系统、半导体工艺设备及抽真空的方法 [P].

宋晓彬 ;

申震 ;

闫志顺 .

中国专利 :CN114645265A ,2022-06-21

[6]

抽真空装置 [P].

刘凯 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208804011U ,2019-04-30

[7]

用于丝光淡碱回收设备抽真空用的抽真空装置 [P].

时益发 ;

张建保 ;

李勇 ;

杨红山 ;

陈海军 .

中国专利 :CN206738153U ,2017-12-12

[8]

真空半导体焊接装置 [P].

陈建民 ;

陈建卫 ;

陈磊 .

中国专利 :CN202230994U ,2012-05-23

[9]

一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀 [P].

赵子旭 ;

李加平 ;

辛洪旭 .

中国专利 :CN119802242B ,2025-09-09

[10]

一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀 [P].

赵子旭 ;

李加平 ;

辛洪旭 .

中国专利 :CN119802242A ,2025-04-11

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