用于大半导体行业的抽真空装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410265696.0

申请日：

2014-06-16

公开(公告)号：

CN105201871A

公开(公告)日：

2015-12-30

发明(设计)人：

郑洪

申请人：

申请人地址：

200001 上海市嘉定区马陆镇东陈路250号1幢106室

IPC主分类号：

F04D1712

IPC分类号：

F04D2900

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-30	公开	公开
2016-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101643924112 IPC(主分类):F04D 17/12 专利申请号:2014102656960 申请日:20140616
2018-04-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):F04D 17/12 申请公布日:20151230

共 50 条

[1]

用于大半导体行业的抽真空装置 [P].

郑洪 .

中国专利 :CN204099236U ,2015-01-14

[2]

半导体加工工艺、抽真空装置和半导体工艺设备 [P].

徐范植 ;

高建峰 ;

丁云凌 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114542425A ,2022-05-27

[3]

半导体器件塑封抽真空装置 [P].

黄振忠 ;

谢伟波 ;

张伟洪 ;

郭树源 ;

蚁淡星 .

中国专利 :CN202189760U ,2012-04-11

[4]

半导体器件塑封抽真空装置 [P].

黄振忠 ;

谢伟波 ;

张伟洪 ;

郭树源 ;

蚁淡星 .

中国专利 :CN102950700A ,2013-03-06

[5]

抽真空系统、半导体工艺设备及抽真空的方法 [P].

宋晓彬 ;

申震 ;

闫志顺 .

中国专利 :CN114645265A ,2022-06-21

[6]

用于丝光淡碱回收设备抽真空用的抽真空装置 [P].

时益发 ;

张建保 ;

李勇 ;

杨红山 ;

陈海军 .

中国专利 :CN206738153U ,2017-12-12

[7]

一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀 [P].

赵子旭 ;

李加平 ;

辛洪旭 .

中国专利 :CN119802242B ,2025-09-09

[8]

一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀 [P].

赵子旭 ;

李加平 ;

辛洪旭 .

中国专利 :CN119802242A ,2025-04-11

[9]

抽真空装置 [P].

刘凯 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208804011U ,2019-04-30

[10]

一种适用于具有多处理腔的半导体设备的抽真空装置 [P].

吴红帅 ;

王旭东 .

中国专利 :CN103579041A ,2014-02-12

← 1 2 3 4 5 →