一种半导体真空烘烤炉

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021342967.5
申请日
2020-07-09
公开(公告)号
CN212485278U
公开(公告)日
2021-02-05
发明(设计)人
金永春
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路78号5号楼二层东
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
B60B3300
代理机构
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385
代理人
叶晓龙
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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洪翠翠 ;
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[3]
一种高温真空烘烤炉 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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