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聚酰亚胺光刻胶及其使用方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010553260.7
申请日
:
2020-06-17
公开(公告)号
:
CN111722470A
公开(公告)日
:
2020-09-29
发明(设计)人
:
王晓伟
申请人
:
申请人地址
:
215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城12幢401-88
IPC主分类号
:
G03F7004
IPC分类号
:
G03F7027
代理机构
:
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
:
向薇
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-09-29
公开
公开
2020-10-27
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20200617
共 50 条
[1]
聚酰亚胺正型光刻胶组合物
[P].
林诣婕
论文数:
0
引用数:
0
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0
林诣婕
;
蔡芸慈
论文数:
0
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0
蔡芸慈
;
林伯南
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0
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林伯南
;
叶子瑭
论文数:
0
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0
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叶子瑭
;
周乃天
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0
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0
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周乃天
;
黄新义
论文数:
0
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0
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0
黄新义
;
林昭文
论文数:
0
引用数:
0
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0
林昭文
.
中国专利
:CN112859523A
,2021-05-28
[2]
聚酰亚胺正型光刻胶组合物
[P].
林诣婕
论文数:
0
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0
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0
机构:
台湾永光化学工业股份有限公司
台湾永光化学工业股份有限公司
林诣婕
;
蔡芸慈
论文数:
0
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0
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0
机构:
台湾永光化学工业股份有限公司
台湾永光化学工业股份有限公司
蔡芸慈
;
林伯南
论文数:
0
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0
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0
机构:
台湾永光化学工业股份有限公司
台湾永光化学工业股份有限公司
林伯南
;
叶子瑭
论文数:
0
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0
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0
机构:
台湾永光化学工业股份有限公司
台湾永光化学工业股份有限公司
叶子瑭
;
周乃天
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0
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0
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机构:
台湾永光化学工业股份有限公司
台湾永光化学工业股份有限公司
周乃天
;
黄新义
论文数:
0
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机构:
台湾永光化学工业股份有限公司
台湾永光化学工业股份有限公司
黄新义
;
林昭文
论文数:
0
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0
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0
机构:
台湾永光化学工业股份有限公司
台湾永光化学工业股份有限公司
林昭文
.
中国专利
:CN112859523B
,2024-04-26
[3]
聚酰亚胺正性光刻胶组合物及其应用
[P].
王思恩
论文数:
0
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0
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机构:
上海泽丰半导体科技有限公司
上海泽丰半导体科技有限公司
王思恩
;
陶克文
论文数:
0
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0
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机构:
上海泽丰半导体科技有限公司
上海泽丰半导体科技有限公司
陶克文
;
李永彪
论文数:
0
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0
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机构:
上海泽丰半导体科技有限公司
上海泽丰半导体科技有限公司
李永彪
;
罗雄科
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海泽丰半导体科技有限公司
上海泽丰半导体科技有限公司
罗雄科
.
中国专利
:CN117930589A
,2024-04-26
[4]
可低温固化的聚酰亚胺树脂、光刻胶组合物及其制备方法
[P].
洪勇波
论文数:
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0
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
洪勇波
;
刘斌
论文数:
0
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0
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
刘斌
;
向文胜
论文数:
0
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0
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0
机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
向文胜
;
胡泽明
论文数:
0
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0
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0
机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
胡泽明
;
张兵
论文数:
0
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
张兵
;
赵建龙
论文数:
0
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
赵建龙
;
谢立洋
论文数:
0
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0
机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
谢立洋
;
程晋广
论文数:
0
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
程晋广
.
中国专利
:CN117757070A
,2024-03-26
[5]
正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法
[P].
不公告发明人
论文数:
0
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0
不公告发明人
.
中国专利
:CN111423582A
,2020-07-17
[6]
耐高温聚酰亚胺光刻胶及其制备方法、应用
[P].
王凯
论文数:
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0
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机构:
江苏长进微电子材料有限公司
江苏长进微电子材料有限公司
王凯
;
严翔
论文数:
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机构:
江苏长进微电子材料有限公司
江苏长进微电子材料有限公司
严翔
;
薛钰铸
论文数:
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0
机构:
江苏长进微电子材料有限公司
江苏长进微电子材料有限公司
薛钰铸
.
中国专利
:CN114879449B
,2025-11-07
[7]
耐高温聚酰亚胺光刻胶及其制备方法、应用
[P].
王凯
论文数:
0
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0
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0
王凯
;
严翔
论文数:
0
引用数:
0
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0
严翔
;
薛钰铸
论文数:
0
引用数:
0
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0
薛钰铸
.
中国专利
:CN114879449A
,2022-08-09
[8]
负性光敏聚酰亚胺光刻胶及其制备方法、聚酰亚胺薄膜和应用
[P].
曹志文
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
曹志文
;
郑爽
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
郑爽
.
中国专利
:CN119024643A
,2024-11-26
[9]
一种光敏聚酰亚胺光刻胶及其制备方法
[P].
论文数:
引用数:
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机构:
张艺
;
孟惠发
论文数:
0
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机构:
中山大学
中山大学
孟惠发
;
陈铠津
论文数:
0
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机构:
中山大学
中山大学
陈铠津
;
蒋星
论文数:
0
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机构:
中山大学
中山大学
蒋星
;
论文数:
引用数:
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机构:
刘四委
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
许家瑞
.
中国专利
:CN119620537A
,2025-03-14
[10]
一种光敏聚酰亚胺光刻胶及其制备方法
[P].
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
张艺
;
孟惠发
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
中山大学
中山大学
孟惠发
;
陈铠津
论文数:
0
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0
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0
机构:
中山大学
中山大学
陈铠津
;
蒋星
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
中山大学
中山大学
蒋星
;
论文数:
引用数:
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机构:
刘四委
;
论文数:
引用数:
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机构:
许家瑞
.
中国专利
:CN119620537B
,2025-10-24
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