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制造三维存储器的方法及三维存储器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110607409.X
申请日：
2021-05-31
公开(公告)号：
CN113345903B
公开(公告)日：
2021-09-03
发明(设计)人：
张坤
刘雅琴
吴林春
周文犀
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
H01L2711524
IPC分类号：
H01L2711556
H01L2128
H01L29423
代理机构：
北京英思普睿知识产权代理有限公司 16018
代理人：
刘莹;聂国斌
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-03 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/11524 申请日:20210531 |
| 2022-11-18 | 授权 | 授权 |