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三维存储器及三维存储器的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110406374.3
申请日：
2020-05-28
公开(公告)号：
CN113178450B
公开(公告)日：
2021-07-27
发明(设计)人：
夏志良 张中 孙中旺 周文犀 刘威
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
H01L2711521
IPC分类号：
H01L2711551 H01L2711568 H01L2711578
代理机构：
北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479
代理人：
高园园
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-08-13 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/11521 申请日:20200528
2022-04-29 授权 授权
2021-07-27 公开 公开
共 50 条
[1]
三维存储器及三维存储器的制造方法 [P]. 
夏志良 ;
张中 ;
孙中旺 ;
周文犀 ;
刘威 .
中国专利 :CN111710681B ,2020-09-25
[2]
三维存储器的制造方法及三维存储器 [P]. 
张中 ;
吴林春 ;
张坤 ;
周文犀 .
中国专利 :CN112185978B ,2021-01-05
[3]
三维存储器及三维存储器制造方法 [P]. 
张坤 ;
孙中旺 ;
吴林春 ;
刘磊 ;
周文犀 .
中国专利 :CN111384062B ,2020-07-07
[4]
三维存储器制造方法及三维存储器 [P]. 
吴林春 ;
杨永刚 ;
周文犀 .
中国专利 :CN113921527B ,2025-12-12
[5]
三维存储器制造方法及三维存储器 [P]. 
吴林春 ;
杨永刚 ;
周文犀 .
中国专利 :CN111326522A ,2020-06-23
[6]
三维存储器制造方法及三维存储器 [P]. 
吴林春 ;
杨永刚 ;
周文犀 .
中国专利 :CN113921527A ,2022-01-11
[7]
制造三维存储器的方法及三维存储器 [P]. 
张坤 ;
刘雅琴 ;
吴林春 ;
周文犀 .
中国专利 :CN113345903B ,2021-09-03
[8]
制造三维存储器的方法及三维存储器 [P]. 
张坤 ;
刘雅琴 ;
吴林春 ;
周文犀 .
中国专利 :CN115623784A ,2023-01-17
[9]
三维存储器的制造方法及三维存储器 [P]. 
宋冬门 .
中国专利 :CN109904165B ,2019-06-18
[10]
制造三维存储器的方法及三维存储器 [P]. 
张坤 ;
刘雅琴 ;
吴林春 ;
周文犀 .
中国专利 :CN115623784B ,2025-11-14
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