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一种晶圆研磨机用取片机构

被引：0
申请号：
CN202221379666.9
申请日：
2022-06-06
公开(公告)号：
CN217992133U
公开(公告)日：
2022-12-09
发明(设计)人：
宁富生
申请人：
申请人地址：
201304 上海市浦东新区书院镇丽正路1628号4幢1-2层
IPC主分类号：
B24B3734
IPC分类号：
B24B4100
代理机构：
上海海贝律师事务所 31301
代理人：
范海燕
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-09 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆研磨机取片机构 [P]. 
刘虎 .
中国专利 :CN215748561U ,2022-02-08
[2]
一种用于晶圆研磨的研磨机 [P]. 
朱耿森 ;
蔡丽虹 ;
朱和亮 .
中国专利 :CN220740690U ,2024-04-09
[3]
晶圆研磨机 [P]. 
王国章 .
中国专利 :CN212706145U ,2021-03-16
[4]
一种防震晶圆研磨机机构 [P]. 
马研 .
中国专利 :CN211361841U ,2020-08-28
[5]
一种晶圆研磨机用运动控制机构 [P]. 
刘虎 .
中国专利 :CN215748556U ,2022-02-08
[6]
一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置 [P]. 
刘虎 .
中国专利 :CN215770013U ,2022-02-08
[7]
一种全自动晶圆研磨机用夹持机构 [P]. 
乔金彪 .
中国专利 :CN212044174U ,2020-12-01
[8]
一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构 [P]. 
刘烽 ;
郁曹佳 ;
沈新杰 ;
杨琦 .
中国专利 :CN220575577U ,2024-03-12
[9]
晶圆研磨机 [P]. 
黄培峰 .
中国专利 :CN203266384U ,2013-11-06
[10]
一种晶圆研磨机构 [P]. 
吴俊 ;
向宏阳 .
中国专利 :CN212886986U ,2021-04-06
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