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一种用于晶圆研磨的研磨机
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202322467383.0
申请日
:
2023-09-11
公开(公告)号
:
CN220740690U
公开(公告)日
:
2024-04-09
发明(设计)人
:
朱耿森
蔡丽虹
朱和亮
申请人
:
台舟电子股份有限公司
申请人地址
:
518033 广东省深圳市福田区福田街道福华社区福虹路4号华强花园A、B、C座A座11E
IPC主分类号
:
B24B37/10
IPC分类号
:
B24B37/34
B24B45/00
B24B47/12
B24B47/22
代理机构
:
合肥市科深知识产权代理事务所(普通合伙) 34235
代理人
:
李丹丹
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-04-09
授权
授权
共 50 条
[1]
晶圆研磨机
[P].
王国章
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0
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0
王国章
.
中国专利
:CN212706145U
,2021-03-16
[2]
晶圆研磨机
[P].
黄培峰
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0
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0
黄培峰
.
中国专利
:CN203266384U
,2013-11-06
[3]
研磨头以及晶圆研磨机
[P].
陆从喜
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陆从喜
;
辛君
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辛君
;
吴龙江
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吴龙江
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN208854405U
,2019-05-14
[4]
一种用于晶圆研磨机的晶舟盒防呆组件及其晶圆研磨机
[P].
彭利民
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0
彭利民
.
中国专利
:CN210272287U
,2020-04-07
[5]
一种晶圆研磨机取片机构
[P].
刘虎
论文数:
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刘虎
.
中国专利
:CN215748561U
,2022-02-08
[6]
一种晶圆边缘研磨机研磨装置
[P].
鲁酉明
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机构:
浙江吉进科技有限公司
浙江吉进科技有限公司
鲁酉明
.
中国专利
:CN117754392A
,2024-03-26
[7]
一种晶圆边缘研磨机研磨装置
[P].
鲁酉明
论文数:
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0
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机构:
浙江吉进科技有限公司
浙江吉进科技有限公司
鲁酉明
.
中国专利
:CN117754392B
,2024-08-09
[8]
一种全自动晶圆研磨机
[P].
黄树生
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机构:
黄树生
黄树生
黄树生
;
陈桃桃
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机构:
黄树生
黄树生
陈桃桃
.
中国专利
:CN115284163B
,2024-11-22
[9]
一种防震型晶圆研磨机
[P].
贾红星
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贾红星
;
袁泉
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袁泉
;
孙健
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孙健
;
陈业
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陈业
.
中国专利
:CN208391781U
,2019-01-18
[10]
一种晶圆研磨机用取片机构
[P].
宁富生
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0
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宁富生
.
中国专利
:CN217992133U
,2022-12-09
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