一种用于晶圆研磨的研磨机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322467383.0
申请日
2023-09-11
公开(公告)号
CN220740690U
公开(公告)日
2024-04-09
发明(设计)人
朱耿森 蔡丽虹 朱和亮
申请人
台舟电子股份有限公司
申请人地址
518033 广东省深圳市福田区福田街道福华社区福虹路4号华强花园A、B、C座A座11E
IPC主分类号
B24B37/10
IPC分类号
B24B37/34 B24B45/00 B24B47/12 B24B47/22
代理机构
合肥市科深知识产权代理事务所(普通合伙) 34235
代理人
李丹丹
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆研磨机 [P]. 
王国章 .
中国专利 :CN212706145U ,2021-03-16
[2]
晶圆研磨机 [P]. 
黄培峰 .
中国专利 :CN203266384U ,2013-11-06
[3]
研磨头以及晶圆研磨机 [P]. 
陆从喜 ;
辛君 ;
吴龙江 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN208854405U ,2019-05-14
[4]
一种用于晶圆研磨机的晶舟盒防呆组件及其晶圆研磨机 [P]. 
彭利民 .
中国专利 :CN210272287U ,2020-04-07
[5]
一种晶圆研磨机取片机构 [P]. 
刘虎 .
中国专利 :CN215748561U ,2022-02-08
[6]
一种晶圆边缘研磨机研磨装置 [P]. 
鲁酉明 .
中国专利 :CN117754392A ,2024-03-26
[7]
一种晶圆边缘研磨机研磨装置 [P]. 
鲁酉明 .
中国专利 :CN117754392B ,2024-08-09
[8]
一种全自动晶圆研磨机 [P]. 
黄树生 ;
陈桃桃 .
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[9]
一种防震型晶圆研磨机 [P]. 
贾红星 ;
袁泉 ;
孙健 ;
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[10]
一种晶圆研磨机用取片机构 [P]. 
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中国专利 :CN217992133U ,2022-12-09