镀膜工艺室的结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020143040.9

申请日：

2010-06-09

公开(公告)号：

CN201778101U

公开(公告)日：

2011-03-30

发明(设计)人：

黄峰

申请人：

申请人地址：

215625 江苏省张家港市锦丰镇登瀛村永德片第五组42号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1418

代理机构：

张家港市高松专利事务所 32209

代理人：

黄春松

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-30	授权	授权
2016-08-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101672714463 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2010201430409 申请日:20100609 授权公告日:20110330 终止日期:20150609

共 50 条

[1]

镀膜工艺室的结构 [P].

黄峰 .

中国专利 :CN101942647A ,2011-01-12

[2]

镀膜工艺室上的盖板 [P].

黄峰 .

中国专利 :CN201778100U ,2011-03-30

[3]

镀膜工艺室上的盖板 [P].

黄峰 .

中国专利 :CN101942637A ,2011-01-12

[4]

玻璃镀膜用的真空镀膜工艺室 [P].

朱建明 .

中国专利 :CN202322637U ,2012-07-11

[5]

磁控阴极溅射镀膜工艺室 [P].

陆仁立 .

中国专利 :CN203411603U ,2014-01-29

[6]

一种连续镀膜工艺室 [P].

于春锋 .

中国专利 :CN208430226U ,2019-01-25

[7]

真空镀膜室的薄壳结构 [P].

许生 ;

李贵和 .

中国专利 :CN2326612Y ,1999-06-30

[8]

镀膜玻璃用真空磁控镀膜室 [P].

赵子东 .

中国专利 :CN201326011Y ,2009-10-14

[9]

镀膜室及镀膜设备 [P].

裴蓓 ;

吕启蒙 ;

余龙 ;

曹永军 .

中国专利 :CN220827454U ,2024-04-23

[10]

镀膜室及镀膜设备 [P].

裴蓓 ;

吕启蒙 ;

余龙 ;

曹永军 .

中国专利 :CN220827453U ,2024-04-23

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