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镀膜工艺室上的盖板
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010134719.6
申请日：
2010-06-09
公开(公告)号：
CN101942637A
公开(公告)日：
2011-01-12
发明(设计)人：
黄峰
申请人：
申请人地址：
215625 江苏省张家港市锦丰镇登瀛村永德片第五组42号
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
代理机构：
张家港市高松专利事务所 32209
代理人：
黄春松
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-03-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101056087872 IPC(主分类):C23C 14/22 专利申请号:2010101347196 申请日:20100609 |
| 2012-06-20 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101382532822 IPC(主分类):C23C 14/22 专利申请号:2010101347196 公开日:20110112 |
| 2011-01-12 | 公开 | 公开 |