晶圆研磨设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820780456.8

申请日：

2018-05-23

公开(公告)号：

CN208428101U

公开(公告)日：

2019-01-25

发明(设计)人：

周小红蒋阳波

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3730 B24B2700 H01L2167

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

董琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-25	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆研磨设备 [P].

史爱波 .

中国专利 :CN203863494U ,2014-10-08

[2]

—种晶圆研磨设备 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN213439057U ,2021-06-15

[3]

晶圆研磨装置以及晶圆研磨设备 [P].

李光照 ;

陈慧新 ;

张一帆 .

中国专利 :CN119609909A ,2025-03-14

[4]

晶圆研磨设备及晶圆研磨方法 [P].

孙永康 ;

夏汇哲 ;

臧志城 ;

王斌超 ;

张俊铠 .

中国专利 :CN119609936A ,2025-03-14

[5]

晶圆研磨方法及晶圆研磨设备 [P].

张林夕 ;

刘畅畅 ;

章学安 .

中国专利 :CN118219164A ,2024-06-21

[6]

一种晶圆研磨头及晶圆研磨设备 [P].

田小勇 .

中国专利 :CN223532196U ,2025-11-11

[7]

晶圆研磨设备 [P].

中村由夫 ;

大塚美雄 ;

大久保贵史 ;

澁谷和孝 ;

布施贵之 ;

原史朗 ;

耸嘛玩 ;

池田伸一 .

中国专利 :CN103846781A ,2014-06-11

[8]

晶圆研磨设备 [P].

王永光 ;

吴社竹 ;

翟新 ;

黄冬梅 ;

陈中杰 .

中国专利 :CN115609468A ,2023-01-17

[9]

晶圆研磨设备 [P].

岳志刚 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

辛君 .

中国专利 :CN209615154U ,2019-11-12

[10]

晶圆研磨装置 [P].

刘凯 ;

吴宇 .

中国专利 :CN215588816U ,2022-01-21

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