一种碳化硅抛光液及其应用

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专利类型
发明
申请号
CN202010541121.2
申请日
2020-06-15
公开(公告)号
CN111518478B
公开(公告)日
2020-08-11
发明(设计)人
胡静泉 刘和欣
申请人
申请人地址
315410 浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
IPC主分类号
C09G102
IPC分类号
代理机构
北京高沃律师事务所 11569
代理人
赵晓琳
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种碳化硅晶片的抛光液 [P]. 
詹琳 .
中国专利 :CN105647393A ,2016-06-08
[2]
碳化硅基片的抛光液 [P]. 
周海 .
中国专利 :CN101724344A ,2010-06-09
[3]
碳化硅衬底用抛光液 [P]. 
储耀卿 ;
施尔畏 .
中国专利 :CN102533124A ,2012-07-04
[4]
碳化硅抛光液过滤设备 [P]. 
孔云龙 ;
张辉 .
中国专利 :CN220968380U ,2024-05-17
[5]
抛光液及其在碳化硅晶体抛光中的应用 [P]. 
申博元 ;
陶翔 ;
庄英贤 .
中国专利 :CN115449300A ,2022-12-09
[6]
抛光液及其在碳化硅晶体抛光中的应用 [P]. 
申博元 ;
陶翔 ;
庄英贤 .
中国专利 :CN115449300B ,2024-04-05
[7]
一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
刘卫丽 ;
宋志棠 .
中国专利 :CN118995055A ,2024-11-22
[8]
一种碳化硅抛光液及其制备方法 [P]. 
吴月英 ;
苑亚斐 .
中国专利 :CN117603624A ,2024-02-27
[9]
一种醇醚碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
陈瑞儿 .
中国专利 :CN114574106A ,2022-06-03
[10]
一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
孙韬 .
中国专利 :CN110922896A ,2020-03-27