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一种碳化硅抛光液及其应用
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010541121.2
申请日
:
2020-06-15
公开(公告)号
:
CN111518478B
公开(公告)日
:
2020-08-11
发明(设计)人
:
胡静泉
刘和欣
申请人
:
申请人地址
:
315410 浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
IPC主分类号
:
C09G102
IPC分类号
:
代理机构
:
北京高沃律师事务所 11569
代理人
:
赵晓琳
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-09-04
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20200615
2022-04-05
授权
授权
2020-08-11
公开
公开
共 50 条
[1]
一种碳化硅晶片的抛光液
[P].
詹琳
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
詹琳
.
中国专利
:CN105647393A
,2016-06-08
[2]
碳化硅基片的抛光液
[P].
周海
论文数:
0
引用数:
0
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0
周海
.
中国专利
:CN101724344A
,2010-06-09
[3]
碳化硅衬底用抛光液
[P].
储耀卿
论文数:
0
引用数:
0
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0
储耀卿
;
施尔畏
论文数:
0
引用数:
0
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0
施尔畏
.
中国专利
:CN102533124A
,2012-07-04
[4]
碳化硅抛光液过滤设备
[P].
孔云龙
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海凡森璞瑞新材料股份有限公司
上海凡森璞瑞新材料股份有限公司
孔云龙
;
张辉
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海凡森璞瑞新材料股份有限公司
上海凡森璞瑞新材料股份有限公司
张辉
.
中国专利
:CN220968380U
,2024-05-17
[5]
抛光液及其在碳化硅晶体抛光中的应用
[P].
申博元
论文数:
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0
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申博元
;
陶翔
论文数:
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0
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陶翔
;
庄英贤
论文数:
0
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0
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庄英贤
.
中国专利
:CN115449300A
,2022-12-09
[6]
抛光液及其在碳化硅晶体抛光中的应用
[P].
申博元
论文数:
0
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机构:
浙江琨澄科技有限公司
浙江琨澄科技有限公司
申博元
;
陶翔
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0
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机构:
浙江琨澄科技有限公司
浙江琨澄科技有限公司
陶翔
;
庄英贤
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
浙江琨澄科技有限公司
浙江琨澄科技有限公司
庄英贤
.
中国专利
:CN115449300B
,2024-04-05
[7]
一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用
[P].
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
刘卫丽
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
宋志棠
.
中国专利
:CN118995055A
,2024-11-22
[8]
一种碳化硅抛光液及其制备方法
[P].
吴月英
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
北京国瑞升科技股份有限公司
北京国瑞升科技股份有限公司
吴月英
;
苑亚斐
论文数:
0
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0
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机构:
北京国瑞升科技股份有限公司
北京国瑞升科技股份有限公司
苑亚斐
.
中国专利
:CN117603624A
,2024-02-27
[9]
一种醇醚碳化硅抛光液及其制备方法和应用
[P].
陈瑞儿
论文数:
0
引用数:
0
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陈瑞儿
.
中国专利
:CN114574106A
,2022-06-03
[10]
一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用
[P].
孙韬
论文数:
0
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0
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0
孙韬
.
中国专利
:CN110922896A
,2020-03-27
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