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一种醇醚碳化硅抛光液及其制备方法和应用

被引：0
申请号：
CN202210372821.2
申请日：
2022-04-11
公开(公告)号：
CN114574106A
公开(公告)日：
2022-06-03
发明(设计)人：
陈瑞儿
申请人：
申请人地址：
315410 浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
IPC主分类号：
C09G102
IPC分类号：
H01L21306
代理机构：
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312
代理人：
杨灿
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-06-03 公开 公开
2022-12-20 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20220411
共 50 条
[1]
一种无磨粒碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
李英其 .
中国专利 :CN118325483A ,2024-07-12
[2]
一种含还原剂的碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
孙韬 ;
陈腾飞 ;
张泽芳 .
中国专利 :CN111574927A ,2020-08-25
[3]
一种含高铁酸盐的碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
孙韬 ;
陈腾飞 ;
张泽芳 .
中国专利 :CN111748285A ,2020-10-09
[4]
一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
刘卫丽 ;
宋志棠 .
中国专利 :CN118995055A ,2024-11-22
[5]
一种含过渡金属或其氧化物磨粒的碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
项神佑 .
中国专利 :CN118325479A ,2024-07-12
[6]
一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
孙韬 .
中国专利 :CN110922896A ,2020-03-27
[7]
一种无味氮化铝抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
钟培杰 .
中国专利 :CN114672252A ,2022-06-28
[8]
一种碳化硅衬底用抛光液及其制备方法 [P]. 
张成荣 ;
刘江华 ;
刘冠华 ;
彭勇 ;
朱生凯 .
中国专利 :CN120966369A ,2025-11-18
[9]
一种碳化硅抛光液及其应用 [P]. 
胡静泉 ;
刘和欣 .
中国专利 :CN111518478B ,2020-08-11
[10]
一种抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
汪为磊 ;
刘卫丽 ;
宋志棠 .
中国专利 :CN114410226A ,2022-04-29
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