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一种含还原剂的碳化硅抛光液及其制备方法和应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010570947.1
申请日：
2020-06-22
公开(公告)号：
CN111574927A
公开(公告)日：
2020-08-25
发明(设计)人：
孙韬
陈腾飞
张泽芳
申请人：
申请人地址：
315410 浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
IPC主分类号：
C09G102
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312
代理人：
李小伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20200622 |
| 2022-06-03 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C09G 1/02 申请公布日:20200825 |
| 2020-08-25 | 公开 | 公开 |