一种无磨粒碳化硅抛光液及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410419515.9
申请日
2024-04-09
公开(公告)号
CN118325483A
公开(公告)日
2024-07-12
发明(设计)人
李英其
申请人
宁波赢晟新材料有限公司
申请人地址
315706 浙江省宁波市象山县大徐镇城东工业园闻涛路62号
IPC主分类号
C09G1/18
IPC分类号
H01L21/02 B24B1/00
代理机构
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312
代理人
涂萧恺
法律状态
实质审查的生效
国省代码
河南省 郑州市
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共 50 条
[1]
一种醇醚碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
陈瑞儿 .
中国专利 :CN114574106A ,2022-06-03
[2]
一种含过渡金属或其氧化物磨粒的碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
项神佑 .
中国专利 :CN118325479A ,2024-07-12
[3]
一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
刘卫丽 ;
宋志棠 .
中国专利 :CN118995055A ,2024-11-22
[4]
一种酸性无磨粒型碳化硅抛光液及其制备方法及应用 [P]. 
王曙正 ;
何洋 .
中国专利 :CN121108885A ,2025-12-12
[5]
一种含高铁酸盐的碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
孙韬 ;
陈腾飞 ;
张泽芳 .
中国专利 :CN111748285A ,2020-10-09
[6]
一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
孙韬 .
中国专利 :CN110922896A ,2020-03-27
[7]
一种含还原剂的碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
孙韬 ;
陈腾飞 ;
张泽芳 .
中国专利 :CN111574927A ,2020-08-25
[8]
一种碳化硅衬底用抛光液及其制备方法 [P]. 
张成荣 ;
刘江华 ;
刘冠华 ;
彭勇 ;
朱生凯 .
中国专利 :CN120966369A ,2025-11-18
[9]
一种碳化硅抛光液及其应用 [P]. 
胡静泉 ;
刘和欣 .
中国专利 :CN111518478B ,2020-08-11
[10]
一种含复合硅溶胶磨料的碳化硅抛光液及其制备方法和应用 [P]. 
兰幽优 .
中国专利 :CN119799165B ,2025-12-30