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一种酸性无磨粒型碳化硅抛光液及其制备方法及应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511248884.7
申请日：
2025-09-03
公开(公告)号：
CN121108885A
公开(公告)日：
2025-12-12
发明(设计)人：
王曙正
何洋
申请人：
晶烁（西安）新材料科技有限公司
申请人地址：
710075 陕西省西安市高新区高新路52号高科大厦15层01室W058
IPC主分类号：
C09G1/18
IPC分类号：
H01L21/02
代理机构：
北京金杉知识产权代理有限公司 16291
代理人：
李享
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-12 | 公开 | 公开 |
| 2025-12-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/18申请日:20250903 |