研磨垫整理器及研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320509981.3

申请日：

2013-08-20

公开(公告)号：

CN203426856U

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

唐强张溢钢

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

B24B3704

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20130820 授权公告日:20140212 终止日期:20190820
2014-02-12	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203317219U ,2013-12-04

[2]

研磨盘、研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202622547U ,2012-12-26

[3]

研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN202825549U ,2013-03-27

[4]

研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203125323U ,2013-08-14

[5]

整理盘、研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN202462224U ,2012-10-03

[6]

整理盘、研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203887685U ,2014-10-22

[7]

整理盘、研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN103386649B ,2013-11-13

[8]

研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台 [P].

唐强 ;

刘永 .

中国专利 :CN103522188B ,2014-01-22

[9]

一种研磨垫整理器及研磨装置 [P].

曹乐 ;

李鹏 .

中国专利 :CN216830342U ,2022-06-28

[10]

研磨垫整理装置及利用其整理研磨垫的方法 [P].

洪永泰 .

中国专利 :CN1505109A ,2004-06-16

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