整理盘、研磨垫整理器及研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220053779.X

申请日：

2012-02-17

公开(公告)号：

CN202462224U

公开(公告)日：

2012-10-03

发明(设计)人：

唐强李佩

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

B24B3702 H01L21321

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-03	授权	授权
2013-05-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101592812062 IPC(主分类):B24B 53/017 专利号:ZL201220053779X 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130425
2020-02-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20120217 授权公告日:20121003 终止日期:20190217

共 50 条

[1]

整理盘、研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203887685U ,2014-10-22

[2]

整理盘、研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN103386649B ,2013-11-13

[3]

研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203317219U ,2013-12-04

[4]

研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 ;

张溢钢 .

中国专利 :CN203426856U ,2014-02-12

[5]

研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203125323U ,2013-08-14

[6]

研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN202825549U ,2013-03-27

[7]

研磨盘、研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202622547U ,2012-12-26

[8]

研磨垫整理盘 [P].

齐宝玉 ;

马智勇 ;

孙涛 ;

林先军 .

中国专利 :CN202825547U ,2013-03-27

[9]

研磨垫整理装置及研磨垫整理方法 [P].

李健 .

中国专利 :CN101352834A ,2009-01-28

[10]

研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台 [P].

唐强 ;

刘永 .

中国专利 :CN103522188B ,2014-01-22

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