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研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210225955.8
申请日：
2012-07-02
公开(公告)号：
CN103522188B
公开(公告)日：
2014-01-22
发明(设计)人：
唐强
刘永
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
B24B53017
IPC分类号：
B24B3700
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):B24B 53/017 登记生效日:20200812 变更事项:专利权人 变更前权利人:中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 变更后权利人:北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更后权利人:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层 |
| 2014-02-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101573725805 IPC(主分类):B24B 53/017 专利申请号:2012102259558 申请日:20120702 |
| 2014-01-22 | 公开 | 公开 |
| 2018-07-20 | 授权 | 授权 |