研磨垫、研磨机台及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410110064.7

申请日：

2014-03-24

公开(公告)号：

CN103862364A

公开(公告)日：

2014-06-18

发明(设计)人：

丁弋朱也方严钧华

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

IPC主分类号：

B24B3720

IPC分类号：

B24B3704 B24B3734

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

王宏婧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-18	公开	公开
2018-01-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 37/20 申请公布日:20140618
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583757278 IPC(主分类):B24B 37/20 专利申请号:2014101100647 申请日:20140324

共 50 条

[1]

研磨垫整理方法及研磨机台 [P].

唐强 .

中国专利 :CN106141894A ,2016-11-23

[2]

研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台 [P].

唐强 ;

刘永 .

中国专利 :CN103522188B ,2014-01-22

[3]

研磨机台及研磨方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

沈佳迪 .

中国专利 :CN108655947A ,2018-10-16

[4]

预热研磨垫的研磨机台 [P].

邓武锋 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN201744919U ,2011-02-16

[5]

研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台 [P].

吴科 ;

文静 ;

张传民 .

中国专利 :CN105234823A ,2016-01-13

[6]

研磨盘及研磨机台 [P].

赵振伟 .

中国专利 :CN202428308U ,2012-09-12

[7]

研磨垫及化学机械研磨机台 [P].

田国军 ;

赵雪峰 .

中国专利 :CN202825512U ,2013-03-27

[8]

研磨垫整理器和研磨机台 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN202200182U ,2012-04-25

[9]

衬底研磨方法以及研磨机台 [P].

陈猛 .

中国专利 :CN120307182A ,2025-07-15

[10]

研磨装置和研磨机台 [P].

何正鸿 ;

高滢滢 ;

夏锦枫 ;

王立钢 .

中国专利 :CN223506946U ,2025-11-04

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