研磨装置和研磨机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422922813.8

申请日：

2024-11-28

公开(公告)号：

CN223506946U

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

何正鸿高滢滢夏锦枫王立钢

申请人：

甬矽半导体（宁波）有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号

IPC主分类号：

B24B37/00

IPC分类号：

B24B37/11 B24B37/34

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

颜欢

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫整理器和研磨机台 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN202200182U ,2012-04-25

[2]

研磨机台及研磨方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

沈佳迪 .

中国专利 :CN108655947A ,2018-10-16

[3]

研磨终点探测方法、装置及研磨机台 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103084968A ,2013-05-08

[4]

研磨盘及研磨机台 [P].

赵振伟 .

中国专利 :CN202428308U ,2012-09-12

[5]

研磨垫、研磨机台及研磨方法 [P].

丁弋 ;

朱也方 ;

严钧华 .

中国专利 :CN103862364A ,2014-06-18

[6]

研磨装置及化学机械研磨机台 [P].

段贤明 .

中国专利 :CN216000031U ,2022-03-11

[7]

一种研磨机台的冷却装置及研磨机台 [P].

冯惠敏 .

中国专利 :CN216830295U ,2022-06-28

[8]

预热研磨垫的研磨机台 [P].

邓武锋 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN201744919U ,2011-02-16

[9]

衬底研磨方法以及研磨机台 [P].

陈猛 .

中国专利 :CN120307182A ,2025-07-15

[10]

研磨机构、研磨头、研磨装置及研磨方法 [P].

坂下干也 ;

松井之辉 ;

侧濑聪文 .

中国专利 :CN112936089A ,2021-06-11

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