研磨机台及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810542757.1

申请日：

2018-05-30

公开(公告)号：

CN108655947A

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

姚力军潘杰王学泽沈佳迪

申请人：

申请人地址：

315000 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

B24B3726

IPC分类号：

B24B37005 B24B3710 B24B3734 B24B5702

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

吴迪

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-16	公开	公开
2020-12-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 37/26 申请公布日:20181016
2018-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/26 申请日:20180530

共 50 条

[1]

研磨垫、研磨机台及研磨方法 [P].

丁弋 ;

朱也方 ;

严钧华 .

中国专利 :CN103862364A ,2014-06-18

[2]

研磨盘及研磨机台 [P].

赵振伟 .

中国专利 :CN202428308U ,2012-09-12

[3]

研磨垫整理方法及研磨机台 [P].

唐强 .

中国专利 :CN106141894A ,2016-11-23

[4]

研磨装置和研磨机台 [P].

何正鸿 ;

高滢滢 ;

夏锦枫 ;

王立钢 .

中国专利 :CN223506946U ,2025-11-04

[5]

研磨垫整理器和研磨机台 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN202200182U ,2012-04-25

[6]

一种研磨机台的冷却装置及研磨机台 [P].

冯惠敏 .

中国专利 :CN216830295U ,2022-06-28

[7]

研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台 [P].

唐强 ;

刘永 .

中国专利 :CN103522188B ,2014-01-22

[8]

预热研磨垫的研磨机台 [P].

邓武锋 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN201744919U ,2011-02-16

[9]

研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台 [P].

吴科 ;

文静 ;

张传民 .

中国专利 :CN105234823A ,2016-01-13

[10]

衬底研磨方法以及研磨机台 [P].

陈猛 .

中国专利 :CN120307182A ,2025-07-15

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