预热研磨垫的研磨机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020248363.4

申请日：

2010-06-25

公开(公告)号：

CN201744919U

公开(公告)日：

2011-02-16

发明(设计)人：

邓武锋刘俊良

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101482944332 IPC(主分类):B24B 37/00 专利号:ZL2010202483634 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20121108
2019-06-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/00 申请日:20100625 授权公告日:20110216 终止日期:20180625
2011-02-16	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫整理器和研磨机台 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN202200182U ,2012-04-25

[2]

研磨垫、研磨机台及研磨方法 [P].

丁弋 ;

朱也方 ;

严钧华 .

中国专利 :CN103862364A ,2014-06-18

[3]

研磨垫及化学机械研磨机台 [P].

田国军 ;

赵雪峰 .

中国专利 :CN202825512U ,2013-03-27

[4]

研磨垫整理方法及研磨机台 [P].

唐强 .

中国专利 :CN106141894A ,2016-11-23

[5]

研磨盘及研磨机台 [P].

赵振伟 .

中国专利 :CN202428308U ,2012-09-12

[6]

研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台 [P].

唐强 ;

刘永 .

中国专利 :CN103522188B ,2014-01-22

[7]

研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台 [P].

吴科 ;

文静 ;

张传民 .

中国专利 :CN105234823A ,2016-01-13

[8]

一种研磨机台的冷却装置及研磨机台 [P].

冯惠敏 .

中国专利 :CN216830295U ,2022-06-28

[9]

研磨机台及研磨方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

沈佳迪 .

中国专利 :CN108655947A ,2018-10-16

[10]

研磨机台反应系统的预热方法 [P].

赵铁军 ;

王怀峰 ;

张伟光 ;

王莉 .

中国专利 :CN101357452A ,2009-02-04

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