衬底研磨方法以及研磨机台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510616808.0

申请日：

2025-05-14

公开(公告)号：

CN120307182A

公开(公告)日：

2025-07-15

发明(设计)人：

陈猛

申请人：

上海超硅半导体股份有限公司重庆超硅半导体有限公司

申请人地址：

201616 上海市松江区鼎松路150弄1-15号

IPC主分类号：

B24B37/00

IPC分类号：

B24B37/34 B24B55/02 B24B55/00 B24B37/005

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

赵娟娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/00申请日:20250514
2025-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨机台及研磨方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

沈佳迪 .

中国专利 :CN108655947A ,2018-10-16

[2]

研磨垫、研磨机台及研磨方法 [P].

丁弋 ;

朱也方 ;

严钧华 .

中国专利 :CN103862364A ,2014-06-18

[3]

研磨终点探测方法、装置及研磨机台 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103084968A ,2013-05-08

[4]

研磨盘及研磨机台 [P].

赵振伟 .

中国专利 :CN202428308U ,2012-09-12

[5]

研磨装置和研磨机台 [P].

何正鸿 ;

高滢滢 ;

夏锦枫 ;

王立钢 .

中国专利 :CN223506946U ,2025-11-04

[6]

研磨垫整理方法及研磨机台 [P].

唐强 .

中国专利 :CN106141894A ,2016-11-23

[7]

预热研磨垫的研磨机台 [P].

邓武锋 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN201744919U ,2011-02-16

[8]

研磨机台及其加工方法 [P].

蔡荣峰 .

中国专利 :CN104002228B ,2014-08-27

[9]

利用研磨机台研磨异常晶圆片的方法 [P].

殷天赐 .

中国专利 :CN107443174B ,2017-12-08

[10]

机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台 [P].

孙鹏 ;

夏林华 ;

赵雪峰 ;

田国军 ;

周维娜 .

中国专利 :CN108015665A ,2018-05-11

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