晶圆取片装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520007862.7

申请日：

2015-01-07

公开(公告)号：

CN204289420U

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

汪红英孙强陈思安

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	授权	授权
2019-12-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20150107 授权公告日:20150422 终止日期:20190107

共 50 条

[1]

晶圆取片装置 [P].

肖宇 ;

岳湘 ;

易涛 .

中国专利 :CN210073799U ,2020-02-14

[2]

晶圆取片器 [P].

刘宗超 .

中国专利 :CN204792750U ,2015-11-18

[3]

取放晶圆片的叉手装置 [P].

林海涛 ;

赵凯 ;

梁猛 ;

姚玉鹏 ;

林建波 .

中国专利 :CN216450621U ,2022-05-06

[4]

晶圆花篮的取放片装置 [P].

王鹤龙 ;

陆嘉鑫 ;

王国杰 .

中国专利 :CN209461434U ,2019-10-01

[5]

一种晶圆片的取片装置 [P].

洪加添 ;

潘锴 .

中国专利 :CN217768313U ,2022-11-08

[6]

晶圆托取装置及晶圆托取设备 [P].

郝瀚 .

中国专利 :CN220895488U ,2024-05-03

[7]

一种frame晶圆取片装置 [P].

司步超 ;

高志远 ;

张刊 ;

王瑞锋 ;

潘武 .

中国专利 :CN221102053U ,2024-06-07

[8]

晶圆夹取装置 [P].

胡毅 ;

杨国运 .

中国专利 :CN222867663U ,2025-05-13

[9]

晶圆取放装置 [P].

卫金荣 ;

倪尧 .

中国专利 :CN205666229U ,2016-10-26

[10]

晶圆取料装置 [P].

左国军 ;

董炳岩 ;

兰天 ;

蔡嘉雄 .

中国专利 :CN222394789U ,2025-01-24

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