取放晶圆片的叉手装置

被引：0

申请号：

CN202123397874.X

申请日：

2021-12-30

公开(公告)号：

CN216450621U

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

林海涛赵凯梁猛姚玉鹏林建波

申请人：

申请人地址：

226000 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江成路1088号江成研发园1号楼1529-145室（CSSD）

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

上海远同律师事务所 31307

代理人：

许力

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-06	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆花篮的取放片装置 [P].

王鹤龙 ;

陆嘉鑫 ;

王国杰 .

中国专利 :CN209461434U ,2019-10-01

[2]

一种便于取放晶圆片的晶圆盒 [P].

刘春峰 .

中国专利 :CN220358058U ,2024-01-16

[3]

一种便于取放晶圆片的晶圆盒 [P].

张涛 ;

马旭 ;

胡炳辉 ;

罗小军 ;

韩晓旭 .

中国专利 :CN221508123U ,2024-08-09

[4]

一种便于取放晶圆片的晶圆盒 [P].

黄诗妤 .

中国专利 :CN218086731U ,2022-12-20

[5]

一种便于取放的晶圆片的晶圆盒 [P].

刘春峰 ;

刘国华 ;

洪巧水 .

中国专利 :CN221861603U ,2024-10-18

[6]

晶圆取放装置 [P].

姚玉鹏 .

中国专利 :CN212182270U ,2020-12-18

[7]

晶圆取放装置 [P].

卫金荣 ;

倪尧 .

中国专利 :CN205666229U ,2016-10-26

[8]

晶圆取放装置 [P].

李龙 ;

张帅 .

中国专利 :CN214625010U ,2021-11-05

[9]

晶圆取放装置 [P].

华宇 ;

赵兴 ;

祝家伟 .

中国专利 :CN214279933U ,2021-09-24

[10]

晶圆取片装置 [P].

肖宇 ;

岳湘 ;

易涛 .

中国专利 :CN210073799U ,2020-02-14

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