晶圆取放装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020519939.X

申请日：

2020-04-10

公开(公告)号：

CN212182270U

公开(公告)日：

2020-12-18

发明(设计)人：

姚玉鹏

申请人：

申请人地址：

201600 上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L21677 H01L21687 H01L2167

代理机构：

上海远同律师事务所 31307

代理人：

胡志鸿;张坚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-18	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆取放装置 [P].

卫金荣 ;

倪尧 .

中国专利 :CN205666229U ,2016-10-26

[2]

晶圆取放装置 [P].

李龙 ;

张帅 .

中国专利 :CN214625010U ,2021-11-05

[3]

晶圆取放装置 [P].

华宇 ;

赵兴 ;

祝家伟 .

中国专利 :CN214279933U ,2021-09-24

[4]

晶圆取放结构 [P].

李建文 ;

林风元 .

中国专利 :CN201174380Y ,2008-12-31

[5]

晶圆放置装置及晶圆取放设备 [P].

潘磊 .

中国专利 :CN210837688U ,2020-06-23

[6]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN203218245U ,2013-09-25

[7]

取放晶圆片的叉手装置 [P].

林海涛 ;

赵凯 ;

梁猛 ;

姚玉鹏 ;

林建波 .

中国专利 :CN216450621U ,2022-05-06

[8]

一种取放晶圆盒的装置 [P].

赵丽云 ;

王博 ;

秦刚 .

中国专利 :CN222514901U ,2025-02-21

[9]

晶圆花篮的取放片装置 [P].

王鹤龙 ;

陆嘉鑫 ;

王国杰 .

中国专利 :CN209461434U ,2019-10-01

[10]

一种晶圆取放装置 [P].

董和平 ;

焦点 ;

郑自菲 .

中国专利 :CN220984503U ,2024-05-17

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